Создание наноразмерного рисунка в слоях интегральной схемы как основная цель использования технологии литографии. Технологические задачи и методы их решения. Виды травления. Лекция 2.8
ЛекцияПредмет:
- Нанотехнологии, Наноэлектроника
Лектор:
Курс лекций:
Дата записи:
18.03.15
Дата публикации:
06.10.15
Код для блога:
Термин «наноэлектроника» связан с термином «микроэлектроника» и отражает переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в субмикронной области к наноразмерным. В работе элементов таких размеров начинают преобладать квантовые эффекты.
Другие лекции курса
7